作为先进芯片制造不可或缺的核心材料，高纯氟化氢长期受制于海外垄断。近日，山东实现技术突破，将高纯氟化氢气体纯度做到了99.9999%，并实现稳定量产，在集成电路关键材料领域迈出国产化替代的关键一步。

  记者刘伊霞：芯片制造，大家最熟悉的是光刻机，它是用来在芯片上“画”电路。但真正动手“刻”的，是它，高纯氟化氢气体。前不久，滨化集团在这样的领域实现了新突破，把纯度做到了99.9999%，也就是6N的级别，迈过了14纳米及以下先进制程芯片制造的硬门槛。

  从沙子到成品，一枚芯片要经过五百到一千个步骤，其中大约每十步就有一步要使用到高纯氟化氢。它的纯度上不去，芯片的成品率就上不去。随着芯片越做越精密，对纯度的要求还在持续提高。

  滨化集团特种化学品事业部总经理刘腾：目前国内的半导体还是处于非常蓬勃的发展阶段，技术也逐渐从成熟制程向先进制程在迈进。在先进制程领域，氟化氢气体用在干法蚀刻，可使用特定工艺形成定向蚀刻，实现这种更精细的图案雕刻。

  然而，全球6N级高纯氟化氢气体市场，约八成被日本企业垄断。而滨化集团作为一家以烧碱、石化为主业的传统化工企业，进军这个赛道的时候，几乎没人看好。

  滨化集团总裁董红波：一个是投入大，第二是技术门槛太高，第三市场准入又特别高，害怕竹篮打水一场空。公司内外部也有诸多的质疑，但正是在这种不被看好的时刻，我们董事长的长期主义的战略定力与价值创造的初心尤为重要。

  高纯氟化氢气体溶于水，就是电子级氢氟酸。滨化此前已经建成年产6000吨的电子级氢氟酸产线，做酸的过程，本质上是提纯气体。虽然滨化并不是从零开始，但从工业级到电子级，每往前推进一步，难度都是指数级的。

  滨化集团特种化学品事业部总经理刘腾：它具有高渗透性和高毒性，缺少监测手段，整个生产的全部过程是在黑匣子中操作，再有就是我们在多级精馏的时候，怎么来实现精准的定位，就像大海捞针一样，找到特定区域这样的产品的纯度能达到我们想要的6N等级。

  在黑匣子里“大海捞针”，从2022年正式攻关开始，滨化持续加码研发，每年拿出近3000万元设立“北鲲青年科学家奖”，在深圳等地布局研究院。与此同时，山东正围绕集成电路等战略产业，加速布局电子特气赛道。

  省科技厅重大专项办公室主任 一级调研员韩绍华：想通过我们重点项目的支持，推动它加快突破。专项主要是从它的研发经费，近千万的这样一个支持。通过我们这一个项目的牵引，帮它汇聚全国的这样的领域的高层次人才。

  滨州市发展改革委党组书记 主任姚振祥：我们专门成立了“北鲲计划”的工作专班，就设在市发改委，同时专班成员对每一个项目都盯紧靠牢，从政策上要素支撑上都给予了充分的保障。

  依托省市两级的政策与平台支撑，企业对接上化工学科实力位居国内前列的天津大学，开启联合攻关。

  天津大学化工工程与技术学院教授张旭斌：首先从机理分析，哪些是关键杂质，结合反应、吸附、精馏，几种工艺耦合，把杂质从体系中取消掉。通过建模型以后，用实验数据修整模型，然后用这个模型去放大生产。

  攻关团队建起小试塔，把模型放进去反复验证，几十个回合下来，终于从无数条错误的路线里，找到了一条能走通的路。今年7月，6N级高纯氟化氢气体正式投产，年产50吨。国际市场同种类型的产品售价，每吨在200万元以上。

  中国化工学会副理事长兼秘书长方向晨：电子化学品既是一个能够解决我们芯片产业被卡脖子一个重要的方面，也可以为化工产业带来很多发展的新机遇。能够突破生产技术，是一个十分艰难的任务。滨化在这个工作上应该说建立了一个非常好的从技术到设备到人员的和管理体系的一个完整的生产体系，后续将会在电子化学品的其他领域也会有借鉴和发展的作用。

  韩国客户：三星电子和SK海力士这两个全球排名第二和第三的半导体巨头正在大规模扩产，到2032年韩国市场规模将翻倍至33亿美元以上。所以我们公司正在全世界内寻找存在竞争力的电子特气供应商，未来和滨化的合作空间会非常广阔。

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